激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析,如絲桿導軌的動態特性分析、振動分析、驅動系統的響應特性分析等。
產品特點
1)精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
2)功能廣
可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量:
可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
可實現對機床回轉軸的測量與校準;
可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
支持手動或自動進行環境補償。
3)軟件強
友好的人機界面;
豐富的應用功能模塊:(3)向導式的操作流程;(4)簡潔化的記錄管理;
支持中文簡體、中文繁體、英文和俄文界面:(6)支持企業專屬模板定制。
4)標準多
內置13份標準,包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準;可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。
技術參數
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