SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì),高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無(wú)論經(jīng)驗(yàn)是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1)分辨率高,低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
2)高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel),在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證
3)電子光路無(wú)交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
4)電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
5)水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
6)磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動(dòng)切換光闌孔,無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
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